Origin/OriginProユーザ事例集
第10回 住友重機械工業株式会社 様
住友重機械工業株式会社 技術本部 技術研究所 物理応用グループ 北見 尚久 様
神奈川県横須賀市にある住友重機械工業 技術研究所の北見様にOriginについてお話を伺ってまいりました。
アークプラズマでの成膜後処理技術の本格的な実用化に向けて様々な研究に取り組まれています。
開発されている装置では、プラズマによる励起と緩和を繰り返すことで主に酸素負イオンを基板に低電圧で注入することが出来、そのダメージフリーかつ高い反応性は、様々な分野での応用が期待されています。学会での研究発表も活発に行われています。今回はそのご研究内容の一部をユーザ事例のためにご説明頂きました。